恭喜陈智勇，张海涛合作项目“高速高精抗噪纳米定位器的控制研究”获批国家自然科学基金海外及港澳学者延续资助重点项目。（全委一年仅二十项）
纳米测量和制造技术的飞速发展亟待研制兼具高速高精和良好抗噪特性的纳米定位器。然而，由于精度与速度的相互制约，纳米定位控制系统的设计一直是国际热点和难点问题。高速定位通常需要高带宽来获取快速运动，而高带宽导致系统对传感器噪音的高敏感性，从而降低了定位精度。本项目以寻找闭环系统带宽和噪声敏感度之间的平衡为切入点，以前期项目在纳米定位器核心部件的动力学特征和输出调节理论方面的研究成果为基础，旨在为原子力显微镜（AFM）定位平台提供整体控制方案，研制高速高精抗噪纳米定位器。项目所构建的纳米定位器可以在保障高速高精稳定扫描的前提下显著降低噪声和多轴耦合影响，达到影像级AFM的扫描工艺要求。项目研究成果将为提高我国纳米测量和制造系统的技术水平提供纳米定位控制新原理和新方法。
