主要研究中心
1. 建立能够精确描述定位中滞环、蠕变等复杂特性的非线性动力学模型
2. 发展鲁棒自适应控制策略以抑制多轴耦合、非线性和参数漂移的不利影响
3. 研制大行程多轴宏微饱和运动控制，提高定位的精度和速度
主要研究进展
1. 设计了基于Bouc-wen模型的压电陶瓷滞环非线性输出调节控制方法，将滞环椭圆拉成直线
2. 发展了准时间最优的伺服控制技术QTOS，在保证定位精度的前提下显著提高了定位精度
3. 模拟人类手臂结构，研制了双级冗余预测控制器，进一步提高了控制精度
应用前景
广泛应用于微纳米制造光刻过程中硅片的纳米定位、电子装配中的高精度元件定位、原子力显微镜高速扫描等高速高精度定位系统。